




氦質譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。打在收集器上,收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。
北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司專業(yè)生產氦質譜檢漏儀,如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢!
氦質譜檢漏儀的基本原理與結構
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀,廣泛應用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發(fā)現,氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求,也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發(fā)展。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。氦質譜檢漏儀的應用拓展氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業(yè),甚至鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)、個體企業(yè),可以說應用領域極其寬廣。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。
離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率
真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構,檢漏儀分為常規(guī)系統和逆擴散兩種。常規(guī)系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率,需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。逆擴散系統檢漏儀與常規(guī)系統相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產品。
機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇
氦質譜檢漏儀廠家的氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應從以下幾方面考慮:
(1)無害,不能對人體或環(huán)境造成傷害;
(2)質量輕,惰性氣體,穿透能力強,能穿透微小細縫;
(3)化學性質穩(wěn)定,不會引起化學反應和易1燃易1爆;
(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測的準確性。
氫和氦都是比較理想的示蹤氣體,空氣中的含量少,質量輕,運動速度快,分子直徑小,同等條件下,直線運動距離長。在實際使用中,也相對比較容易獲取,可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性,因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體,但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的,考慮到它的化學性質及危險性,在應用中較少使用,所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。如果泄漏造成內外沒有壓差,外部潮濕氣體有可能進入,而破壞氧化鋅片特性,造成爆1炸。
今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢!